Nyomásérzékelők folyadékok és gázok nyomásának mérésére szolgálnak. A gyakori típusok közé tartoznak a MEMS szilícium piezorezisztív nyomásérzékelők, a MEMS szilícium rezonáns nyomásérzékelők, a kerámia kapacitív nyomásérzékelők, a fém kapacitív nyomásérzékelők, a porlasztott vékonyrétegű{1}}nyomásérzékelők és a fém nyúlásmérő nyomásérzékelők. Működési forgatókönyveik a működési elvtől függően változnak.
MEMS szilícium piezorezisztív nyomásérzékelő:Ez a legszélesebb körben használt nyomásérzékelő típus. Fő mérési tartománya 15 kPa-tól 100 MPa-ig terjed, tipikus pontossága 0,05% FS és 3% FS között van. Az üzemi hőmérséklet-tartomány általában -55 és 180 fok között van. Mivel kompatibilis a nagy{11}léptékű félvezetőgyártási folyamatokkal, olcsó. Folyadékméréshez olajjal töltött szigetelő csomagolás szükséges.
MEMS szilícium rezonáns nyomásérzékelő: Ez az érzékelő zseniális kialakítást alkalmaz, amely a nyomást a mikro-nyaláb rezonanciafrekvenciájának változásává alakítja. Mivel a sugár frekvenciája csak a szerkezetétől és hőmérsékletétől függ, és szűrőhatásokat is élvez, ez az érzékelő akár 0,01%-os FS kimeneti pontosságot is elér. Fő nyomásmérési tartománya 100 kPa és 40 MPa között van, üzemi hőmérséklete -55 és 85 fok között van. Bonyolult gyártása és magas költsége miatt rendkívül nagy pontosságot igénylő alkalmazásokhoz alkalmas, mint például a félvezető feldolgozás és az óceánmélység mérése.
Kerámia kapacitív nyomásérzékelő:A kerámia anyag kiváló kopásállóságot biztosít, így ez az érzékelő alkalmas homok-iszap keverékek nyomásának mérésére. Jó korrózióállóságot is biztosít, lehetővé téve a korrozív folyadékok, például a kénsav mérését. Ezenkívül a kerámia alapú nyomásérzékelők ellenállnak a víz megfagyásának,{2}}ez a funkció nem érhető el MEMS-érzékelőkkel.
Fém kapacitív nyomásérzékelő:Ez az érzékelő fém membránt használ nyomásérzékeny mozgatható elektródaként, amely kondenzátort alkot egy rögzített elektródával. Amikor nyomás hat a membránra, megváltozik az elektródák közötti kapacitás, ami nyomás-kapacitás összefüggést hoz létre. A fémmembránok korrózióálló anyagokból, például Inconelből készülhetnek, és nagyon alacsony nyomást (0–1/10/100/1000 Torr) képesek mérni. Következésképpen széles körben alkalmazható a vákuummérésben és a speciális gázmérésben a félvezetőiparban.
PrüszkölveThin-filmNyomásérzékelő és fém nyúlásmérő nyomásérzékelő:Mindkét érzékelő erős{0}}anyaggal van bevonva, amely nagy fémfelületen van bevonva, így a termék robusztus és tartós. Alkalmasak nagynyomású tartományokhoz és nagy megbízhatóságot igénylő alkalmazásokhoz, például sárgaárukhoz, dízelmotorokhoz és alagútfúró gépekhez. Ezeket az érzékelőket nem könnyű abszolút nyomásérzékelővé gyártani, és általában 200 MPa-ig vagy annál nagyobb maximális tartományt fedhetnek le. A fenti első képen egy porlasztott vékony{5}}film-érzékelő mag, míg a második képen egy fém nyúlásmérő mag látható.
A nyomásérzékelő kiválasztásának a tényleges működési feltételeken kell alapulnia, hogy teljes mértékben kiaknázhassa a teljesítményét. A Mihui Technology különféle elveken alapuló nyomásérzékelőkre specializálódott, teljes tervezési, gyártási és gyártási lehetőségeket kínálva ügyfeleinek a legmegfelelőbb megoldásokat kínálva. Üdvözöljük, ha felkeltettük érdeklődését, forduljon hozzánk:Telefonszám: +8618066965135; E-mail: mihuitec@gmail.com
